1995年国际计量委员会(CIPM)物质量咨询委员会(CCQM)确认了同位素稀释质谱法、库仑法、重量法、滴定法和凝固点下降法是具有权威性的化学计量方法。
同位素稀释质谱法(IDMS)是通过同位素丰度的精确质谱测量和所加入稀释剂的准确称量，求得待测样品中某元素的绝对量，有效地把元素的化学分析转变为同位素测量，因此具有同位素质谱测量的高精度和化学计量的高准确度。一旦稀释剂加入并与待测物达到平衡，同位素比值即已恒定，只要测量操作正确不致污染就不会改变，即使在元素分离与取样过程中有所丢失，对分析结果也无影响，不需严格定量分离。测量结果可直接溯源到摩尔。使用高灵敏度的质谱计可以进行微量、痕量和超痕量的分析，元素周期表中大约80%的元素都可用该法进行测量，与其它方法相比，IDMS具有测量范围广、灵敏度高、准确度好的特点。
自上世纪中期、随着高性能单聚焦、双聚焦质谱仪器、动态质谱仪器的大量涌现，质谱仪与计算机、质谱仪与层析技术的联合使用，质谱分析获得了新的发展。方法的灵敏度、测量精度和测定值的不确定度有了较大的提高。应用范围不断拓宽。在稳定同位素、放射性同位素精确测量的基础上，同位素质谱与分析化学、化学计量学在样品消解、元素分离、浓缩和准确计量的成就相结合，为同位素质谱成为化学成分分析的有利手段开辟了新的途径，也为IDMS的发展奠定了基础。
科技发达国家的相关实验室和国际计量委员会物质量咨询委员会、分析化学国际溯源性工作组等国际组织都很重视IDMS的应用研究，自1993年起CIPM-CCQM每年都组织IDMS国际比对，目的是检验该法在各国开展的水平，规范测量程序，为化学测量国际溯源体系的建立打下基础。现在IDMS已广泛地应用在环境化学、生物化学、医学、营养学、地球化学、核科学等领域，并在实现化学测量国际溯源中起到重要的作用。
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